高純石墨在半導(dǎo)體晶體生長及后續(xù)外延、離子注入等工序中均有應(yīng)用。

? 半導(dǎo)體晶體生長中使用更高純度的石墨及保溫材料，來保證晶體的純度，必要時(shí)會(huì)選擇特殊涂層石墨制品。

? 半導(dǎo)體外延工藝中，采用精密加工的石墨基座來承載晶片，必要時(shí)石墨基座需采用特殊涂層來增強(qiáng)其抗腐蝕性能。